網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > 精測電子/Jingce

AeroSCAN? DUO FIB-SEM 雙束設(shè)備

FIB-SEM雙束系統(tǒng)：集成SEM和FIB于一體，兩者的結(jié)合，在保留原有SEM超高分辨率和FIB優(yōu)異的微納加工能力的基礎(chǔ)上，可以實現(xiàn)原位的微納加工。其中，半導(dǎo)體領(lǐng)域為其主要的應(yīng)用領(lǐng)域，用于IC芯片缺陷分析、修復(fù)和TEM樣品制備。

詢價

AeroSCANTM DUO FIB-SEM 雙束設(shè)備

? 掃描電鏡 SEM：在真空環(huán)境中，利用高能的電子束掃描樣品表面進(jìn)行成像的一種顯微鏡，其分辨率能達(dá)到~1nm

? 聚焦離子束 FIB：通過把離子束聚焦成納米級光束，實現(xiàn) 材料微納加工的一種新技術(shù)

? FIB-SEM雙束系統(tǒng)：集成SEM和FIB于一體，兩者的結(jié)合，在保留原有SEM超高分辨率和FIB優(yōu)異的微納加工能力的基礎(chǔ)上，可以實現(xiàn)原位的微納加工。其中，半導(dǎo)體領(lǐng)域為其最主要的應(yīng)用領(lǐng)域，用于IC芯片缺陷分析、修復(fù)和TEM 樣品制備

? 全新復(fù)合式透鏡設(shè)計，可實現(xiàn)超高分辨率模式UHR和大視場模式；

? Sub-nano 成像分辨率 0.8 nm @ 15 kV;

? 2.5 mm 超大的成像視場；

? 采用獨特的電子束減速技術(shù)，絕緣樣品友好成像，減小對檢測樣品的損傷；

? 100 MHz 超高電子束掃描成像速率,4 x 傳統(tǒng)掃描速率；

? 多視角探測器配備，in-lens 二次電子探測器，BSE探測器；

? 多種成像分辨率選擇，最大可支持8 k；

? 超大樣品室設(shè)計，最大可支持6英寸樣品；

	SEM	FIB
電子源	TFE Schottky emitter（肖特基熱場發(fā)射）	Ga 液態(tài)離子源
分辨率	0.8 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV	5 nm @ 30 kV 在雙束相交點
加速電壓	150 V to 30 kV	500 V to 30 kV
束流	1 pA to 20 nA	1 pA to 50 nA
FOV	2.5 mm @ WD=4 mm	1 mm @ WD= 4 mm
探測器	多視角探測器 In-lens SE 探測器，sideview SE 探測器r, BSE 探測器r , 二次離子探測器
樣品臺	全自動五軸馬達(dá)
	X=Y=150 mm，R 360° 連續(xù) Z=50 mm T=-10 ° to 70 °
真空系統(tǒng)	電子槍~10-7 Pa，樣品室~10-5 Pa 離子泵3 x 20 l/s 分子泵1 x 450 l/s 無油干泵1 x 250 l/min
顯示	最大支持8K 像素
操作系統(tǒng)	WIN 10 ， 34”LCD ，server 主機(jī)
可選配件	EDS, GIS, 微納米機(jī)械手，任意圖形發(fā)生器（圖形刻蝕）