光譜橢偏儀
- 詢價(jià)
一、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
● 專業(yè)光譜橢偏解決方案
● 超高精度、快速無損測(cè)量
● 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)
● 豐富的材料數(shù)據(jù)庫(kù)與算法模型庫(kù)
支持多功能靈活配置
系列配置靈活，可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊定制化配置
自動(dòng)變角模塊
自動(dòng)找焦模塊
Mapping測(cè)量模塊
微光斑測(cè)量模塊
二、應(yīng)用案例
三、系列產(chǎn)品
四、技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | SE-VM | SE-L | SE-Mapping | SE-VE |
自動(dòng)化程度 | 角 | 自動(dòng)變角 | 固定角+mapping | 固定角 |
應(yīng)用定位 | 通用型 | 自動(dòng)型 | 檢測(cè)型 | 經(jīng)濟(jì)型 |
基本功能 | Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 | Psi/Delta、N/C/S、R等光譜 | ||
分析光譜 | 380-1000nm（支持?jǐn)U展至210-1650nm） | 400-800nm | ||
單次測(cè)量時(shí)間 | 0.5-5s | |||
重復(fù)性測(cè)量精度 | 0.01nm | 0.05nm | ||
光斑大小 | 大光斑2-4mm，微光斑200μm/100um | 大光斑2-4mm | ||
折射率重復(fù)性精度 | 0.0005 | 0.0001 | ||
入射角范圍 | 45-90°（5°步進(jìn)） | 45-90° | 65° | 65° |
入射角調(diào)節(jié)方式 | 手動(dòng)變角 | 自動(dòng)變角 | 固定角 | 固定角 |
找焦方式 | 手動(dòng)找焦 | 自動(dòng)找焦 | 手動(dòng)找焦 | 手動(dòng)找焦 |
Mapping行程 | 不支持 | 100*100mm(可選配) | 300*300mm(可選配) | 不支持 |
支持樣件尺寸 | 最大至180mm | 最大至200mm | 最大至300mm | 最大至160mm |
● 重復(fù)性精度指標(biāo)針對(duì)100nmSiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣件30次重復(fù)性測(cè)量；
● 有關(guān)Mapping型號(hào)命名與其行程尺寸有關(guān)，并支持尺寸定制；
● 儀器具體技術(shù)參數(shù)需與實(shí)際功能模塊、配件有關(guān)，表中數(shù)據(jù)僅供參考。
