超高真空微型光柵尺SMG26特點，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于超高真空使用，良好的耐高溫性，最高可達100℃，SMG26系列光柵的柵距為256μm，下表為不同細分倍數(shù)下的允許速度值，精度高，絕對精度±3μm（20℃），采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良好。分辨率高，配合TF15細分接頭，讀數(shù)分辨率可達1nm。安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。